[实用新型]一种旋转靶材的垂直绑定结构有效
| 申请号： | 201921931859.9 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN211079319U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 高明;张花蕊;张虎;陈浩杰 | 申请（专利权）人： | 北京航大微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100089 北京市海淀区学*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种旋转靶材的垂直绑定结构，该种旋转靶材包括衬管2、和套设在所述衬管2外的多个靶管1，所述衬管2的外周面和所述靶管1的内周面之间通过连接层7固定，其特征在于：所述连接层7为胶体层，所述连接层7内匹配设置有辅助连接部件。该种能垂直绑定结构能灵活用于不同长度的靶管1和异形靶、连接强度更好、成本低廉、操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 垂直 绑定 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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