[实用新型]一种高压射频PIN管有效
| 申请号： | 201921937447.6 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN210575966U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 严毅琳;马文力;王源政;徐婷 | 申请（专利权）人： | 扬州国宇电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/868 | 分类号： | H01L29/868;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体功率器件技术领域内的一种高压射频PIN管。该种高压射频PIN管包括N型重掺杂衬底，N型重掺杂衬底的上方设有高阻本征层，N型重掺杂衬底的下方设有背面电极金属，高阻本征层的上方设有P型重掺杂层，P型重掺杂层、高阻本征层和部分N型重掺杂衬底形成一个三层的柱形体，N型重掺杂衬底的上方还设有钝化层，钝化层包覆柱形体，钝化层在柱形体上面开设有通孔，在P型重掺杂层上方设有正面电极金属，正面电极金属穿过通孔与P型重掺杂层接触。该种高压射频PIN管能够在较大电压区间工作同时生产成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高压 射频 pin | ||
【主权项】：
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