[实用新型]一种多叉指LDMOS-SCR静电防护器件有效

专利信息
申请号: 201921941191.6 申请日: 2019-11-11
公开(公告)号: CN210489616U 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 汪洋;曹佩;董鹏;金湘亮;李幸 申请(专利权)人: 湖南静芯微电子技术有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/78
代理公司: 深圳市华勤知识产权代理事务所(普通合伙) 44426 代理人: 隆毅
地址: 410199 湖南省长沙市经济*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型实施例提供一种多叉指LDMOS‑SCR静电防护器件,包括P型衬底;P型衬底中设有N型深阱;N型深阱内设有第一P阱、第一P阱和第二P阱之间的N型深阱、第二P阱、第二P阱和第三P阱之间的N型深阱、第三P阱、第三P+阱和第四P阱之间的N型深阱以及第四P阱;第一P阱内设有第一P+注入区和第一N+注入区;第二P阱内设有第四P+注入区、第三N+注入区、第五P+注入区、第四N+注入区和第六P+注入区;第三P阱内设有第九P+注入区和多个N+注入区Ⅱ,第四P阱内设有第九N+注入区和多个P+注入区Ⅴ,如此,相对于传统多叉指LDMOS‑SCR器件,本实用新型在增加器件指数的同时,提高多叉指LDMOS‑SCR的导通均匀性,进而提高多叉指LDMOS‑SCR的鲁棒性。
搜索关键词: 一种 多叉指 ldmos scr 静电 防护 器件
【主权项】:
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