[实用新型]一种高效散热的半导体器件有效
申请号: | 201921949544.7 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN210489602U | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 梁智文;王琦;刘南柳;汪青;张国义 | 申请(专利权)人: | 北京大学东莞光电研究院 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373;H01L33/64;H01S5/024 |
代理公司: | 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 | 代理人: | 邓燕 |
地址: | 523808 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种高效散热的半导体器件,包括半导体衬底,还包括导热微纳结构、氮化物器件和氮化物层,所述氮化物器件设有若干个,所述导热微纳结构匹配所述氮化物器件设有若干个,所述氮化物器件和所述导热微纳结构相间设置于所述半导体衬底,所述氮化物器件和所述导热微纳结构紧密接合,所述氮化物层设于所述氮化物器件远离所述半导体衬底一侧,本实用新型结构简单,设计合理,相当于在氮化物器件当中嵌入导热微纳结构做为导热通道,此通道可以通过优化大小与排列,最大限度地提高氮化物外延材料综合导热性能,从而有效保证半导体器件的散热效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 散热 半导体器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学东莞光电研究院,未经北京大学东莞光电研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921949544.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种产品轮廓度检测治具
- 下一篇:一种部件漏装检测装置