[实用新型]一种高效散热的半导体器件有效

专利信息
申请号: 201921949544.7 申请日: 2019-11-12
公开(公告)号: CN210489602U 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 梁智文;王琦;刘南柳;汪青;张国义 申请(专利权)人: 北京大学东莞光电研究院
主分类号: H01L23/367 分类号: H01L23/367;H01L23/373;H01L33/64;H01S5/024
代理公司: 东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙) 44412 代理人: 邓燕
地址: 523808 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种高效散热的半导体器件,包括半导体衬底,还包括导热微纳结构、氮化物器件和氮化物层,所述氮化物器件设有若干个,所述导热微纳结构匹配所述氮化物器件设有若干个,所述氮化物器件和所述导热微纳结构相间设置于所述半导体衬底,所述氮化物器件和所述导热微纳结构紧密接合,所述氮化物层设于所述氮化物器件远离所述半导体衬底一侧,本实用新型结构简单,设计合理,相当于在氮化物器件当中嵌入导热微纳结构做为导热通道,此通道可以通过优化大小与排列,最大限度地提高氮化物外延材料综合导热性能,从而有效保证半导体器件的散热效果。
搜索关键词: 一种 高效 散热 半导体器件
【主权项】:
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