[实用新型]一种中心流道块浮动机构有效
申请号: | 201921960673.6 | 申请日: | 2019-11-13 |
公开(公告)号: | CN210911080U | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 陈健 | 申请(专利权)人: | 深圳市亿昊精密半导体设备有限公司 |
主分类号: | B29C48/30 | 分类号: | B29C48/30 |
代理公司: | 北京众泽信达知识产权代理事务所(普通合伙) 11701 | 代理人: | 王晓红 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种中心流道块浮动机构,包括接头,所述接头的下端固定设置有中心接口,所述接头的上端固定安装有中心管,所述中心管与接头固定连通,所述中心管的上端固定安装有分流块,所述中心管与分流块固定连通,所述分流块的边侧固定设置有分流管,所述分流块与分流管固定连通,所述分流管的上端固定安装有分流接口,所述分流接口的下端穿过分流管并延伸至分流管的内部,所述分流管与分流接口固定连通,所述分流块的中部固定安装有固定块。该中心流道块浮动机构,通过在中心流道的边侧固定设置有浮动槽,可使中心流道内部的流体在可接收误差之间通过,大大提高了中心流道内部通过的流体流量更加准确、稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 中心 流道块 浮动 机构 | ||
【主权项】:
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