[实用新型]一种真空镀膜设备用保护装置

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜设备用保护装置，包括机体和底座；所述机体位于底座上侧，所述机体底端设置有基座，所述基座上端通过螺栓固定安装在机体底端，所述底座内部为中空设置，所述底座底端设置有底板，所述底板上侧焊接在底座底端位置，所述基座底端嵌入底座内部，所述基座底端和底座上侧设置有多个减震弹簧，所述减震弹簧均匀分布在基座底端和底座上侧位置，所述减震弹簧两端焊接在基座底端和底座上侧位置。本实用新型在机体发生较大的震动时，通过减震弹簧进行减震，减震弹簧能够对机体的震动进行缓冲，降低机体的震动幅度，避免机体震动幅度较大，导致内部零件发生松动。