[实用新型]一种光致失粘胶带有效
申请号: | 201921967824.0 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN212174860U | 公开(公告)日: | 2020-12-18 |
发明(设计)人: | 刘泓铭;陈维林 | 申请(专利权)人: | 北京清鸿光科科技有限公司 |
主分类号: | C09J7/24 | 分类号: | C09J7/24;C09J7/38 |
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地址: | 100000 北京市海淀区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光致失粘胶带,包括基层,所述基层的一侧涂覆有胶层,所述胶层远离基层的一侧涂覆有离型膜层。本实用新型中使用光致失粘胶带进行半导体制备时,如晶圆切割时,其较高的粘结强度可以在加工过程有效保护工件,防止晶片飞散、崩裂,在脱胶阶段,仅依靠紫外光照即可在数秒至数十秒的时间范围使胶带失去粘性,无需进入高温工段进行脱胶,有效降低了生产过程的能耗,加快生产周期。 | ||
搜索关键词: | 一种 光致失 粘胶 | ||
【主权项】:
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