[实用新型]光刻胶生产废气有害气体吸收装置有效
| 申请号： | 201921983504.4 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN211487132U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王鸿岩;孙浩 | 申请（专利权）人： | 辽宁靖帆新材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/40 | 分类号： | B01D53/40;B01D53/78;B01D5/00;B01D47/06 |
| 代理公司： | 沈阳鼎恒知识产权代理事务所(普通合伙) 21245 | 代理人： | 赵月娜 |
| 地址： | 111000 辽宁省辽阳市灯*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光刻胶生产废气有害气体吸收装置，其技术要点是：由依次连通的冷凝分离单元、水喷淋单元、碱液喷淋单元和活性炭吸附过滤单元组成，冷凝分离单元包括与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的分离罐、设于分离罐内上部的冷凝液循环管路、设于分离罐内下部的热利用循环管路、与分离罐底部连通的积液罐，热利用循环管路与NAS‑5脱水罐外部加热水管连通，积液罐的上部设有与NAS‑5脱水罐顶部出气管线连通的回液管路，回液管路上设有单向阀，分离罐对应热利用循环管路下方的位置设有进气口。本实用新型结构更为合理、使用节能环保，在对有害气体进行有效祛除的同时，充分利用尾气中的热量，并有效减少NAS‑5流失。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 生产 废气 有害 气体 吸收 装置 | ||
【主权项】：
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