[实用新型]一种新型砂轮底座有效
| 申请号： | 201921988498.1 | 申请日： | 2019-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN211053428U | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 汪其长;李俊;吴淼;赵鑫;冯克耀;庄士贤;蔡家豪;张家豪 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体领域，尤其涉及一种新型砂轮底座，包括砂轮座和砂轮齿，所述砂轮齿周向分布在砂轮座表面，其特征在于：相邻所述砂轮齿之间具有凹槽，所述凹槽的开口宽度小于相邻所述砂轮齿之间的距离。本实用新型在相邻砂轮齿之间设置凹槽，从而可以增加研磨进程末期冷却水进入高度，进而避免因冷却水进入不畅导致冷却效果差，以及研磨碎屑排出不畅导致的深刮边暗，从而改善破片及断晶异常。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 砂轮 底座 | ||
【主权项】：
暂无信息
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