[实用新型]一种溅射镀膜一体机用滚筒有效
申请号: | 201921994251.0 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN211142147U | 公开(公告)日: | 2020-07-31 |
发明(设计)人: | 王勇;何飞;朱雪峰 | 申请(专利权)人: | 成都四盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/35 |
代理公司: | 成都东唐智宏专利代理事务所(普通合伙) 51261 | 代理人: | 罗言刚 |
地址: | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种溅射镀膜一体机用滚筒,属于溅射镀膜设备技术领域,包括滚筒本体、两个滚轮、两个圆环形齿轮、若干支撑导柱和挡板组件,所述滚筒本体内部设有供待镀膜物品承放的容纳腔,所述滚筒本体的侧壁上设有与容纳腔连通的圆形贯穿槽,两个所述滚轮分别安装在滚筒本体的两端,两个所述圆环形齿轮分别安装在滚筒本体的两侧,若干所述支撑导柱围绕着所述滚筒本体的轴线方向均匀设置,所述挡板组件设置在滚筒本体的内圆周壁上。本申请在镀膜的过程中滚动,则能让容纳腔内的大量物件跟随着滚筒本体转动,增加所有的待镀膜的物件与成膜物质的接触面积,提高镀膜的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 溅射 镀膜 一体机 滚筒 | ||
【主权项】:
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