[实用新型]可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机有效
| 申请号： | 201921995656.6 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN210886216U | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜科技创新有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 官国鹏 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市三榕*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统。镀膜机可同时进行蒸发镀膜和等离子放电成膜，实现一次可镀多层膜，属于真空镀膜设备技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 往返 多功能 镀膜 | ||
【主权项】：
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