[实用新型]深孔阀座套批量沉积装置有效
| 申请号： | 201921995929.7 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN211595799U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 吴其涛;钱涛;钱政羽 | 申请（专利权）人： | 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 陆明耀;顾祥安 |
| 地址： | 215122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型揭示了深孔阀座套批量沉积装置，包括用于连接转轴的底座，所述底座上共轴设置有套筒，所述套筒的上端设置有遮盖其顶部开口的顶板，所述套筒的表面形成有至少一列和/或一组呈环形分布插孔，所述套筒的外表面可拆卸的设置有覆盖每排或每列所述插孔的盖板，所述盖板上形成有与每个所述插孔共轴的避让孔。本方案设计精巧，结构简单，通过在套筒上设置多个插孔以安装深孔阀座套，套筒结合底座、顶板及压板对深孔阀座套的非沉积区域进行遮蔽，从而为有效的沉积创造了条件，并且有效的实现了批量沉积。 | ||
| 搜索关键词： | 深孔阀座套 批量 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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