[实用新型]一种硅基微型LED芯片

摘要

本实用新型公开了一种硅基微型LED芯片，包括硅衬底、若干个发光结构、切割槽和有机绝缘层，所述切割槽设置在发光结构之间。本实用新型采用硅衬底来代替蓝宝石衬底，避免了蓝宝石衬底在激光剥离时因为氮化镓吸收激光后分解产生的N2对氮化镓材料和微型LED芯片所造成的破坏。此外，本实用新型通过物理研磨和化学腐蚀两步法来移除硅衬底，在有效去除硅衬底的同时，可以保护发光结构不被破坏，提高了衬底的移除良率和可靠性。