[实用新型]一种基于电真空器件的光谱仪有效
| 申请号： | 201922008327.4 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN211014002U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李赟 | 申请（专利权）人： | 西安中科英威特光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 姬莉 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高新区细*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于电真空器件的光谱仪，包括光信号输入系统、色散分光棱镜、基于微通道板的位敏型多阳极光电探测器以及数据采集及信号处理系统；光信号输入系统的狭缝与色散分光棱镜的主截面垂直，其准直系统将被测光信号准直成平行的光束投射到色散分光棱镜的接收面上；被测光信号经色散分光棱镜色散后，各不同波长的单色光波入射至位敏型多阳极光电探测器探测面不同位置处，从而在其对应的位敏多阳极产生探测电流，通过数据采集及信号处理系统完成光谱波长和能量信息的检测与分析。该光谱仪选用基于微通道板(MCP)的位敏型多阳极光电探测器以提高探测器的信噪比，具有响应时间快，灵敏度高，弱信号探测能力强及结构简单紧凑等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 真空 器件 光谱仪 | ||
【主权项】：
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