[实用新型]激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备

摘要

本发明涉及激光加工技术领域，公开了一种激光开槽的光学系统、激光器及带有激光器的设备，包括，激光器，反射镜组，扩束镜，激光光束整形系统，多光点DOE以及聚焦透镜。激光器发射的激光光束，经过第一45°反射镜组以及扩束镜后，经过矩形可调光阑和椭圆光斑整形系统后，进入多光点DOE，后经第二45°反射镜后，垂直射入聚焦透镜，最后光斑经由聚焦镜聚焦至待加工样品表面。本发明利用Mask+柱透镜系统，将传统的高斯光斑整形成宽度可调的矩形光斑，以提升激光开槽的质量效果；利用多光点DOE的光斑整形功能，将原始矩形光斑分离为多个光斑同时加工，可在大幅度提升开槽效率的同时，进一步提升开槽质量。