[实用新型]一种用以固定晶圆的夹持装置有效
| 申请号： | 201922013715.1 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN211466133U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李志峰;庄海云;徐铭;王雪松 | 申请（专利权）人： | 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/02 | 分类号： | B25B11/02 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 蔡岩岩 |
| 地址： | 200000 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用以固定晶圆的夹持装置，包括：第一夹持组件，所述第一夹持组件包括安装板，所述安装板上至少固接有两个固定座，所述固定座包括第一固定座及与所述第一固定座对称设置的第二固定座，所述第一固定座上开设有若干个齿条；以及第二夹持组件，所述第二夹持组件与第一夹持组件结构相同且对称设置；安装板上贯穿固定有连接杆，且安装板一端固接有转动连接杆，所述转动连接杆转动连接有转动曲柄，以使第一夹持组件与第二夹持组件绕着所述转动曲柄做周向转动。根据本实用新型，适用于承载艺流程无论是进行传送流程、加工工艺、晶圆安置等需要透过固定晶圆单入、批量式晶圆，使晶圆进行移动、传输以进行不同区段的工位稳定安置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用以 固定 夹持 装置 | ||
【主权项】：
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