[实用新型]晶圆有效
申请号: | 201922013736.3 | 申请日: | 2019-11-20 |
公开(公告)号: | CN210628319U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 单亚东;谢刚;胡丹;李武华 | 申请(专利权)人: | 广微集成技术(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L21/66 |
代理公司: | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人: | 秦莹 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆,所述晶圆包括:最底层的N型衬底、覆盖在N型衬底上表面的N型外延层、覆盖在N型外延层上表面四周的氧化层、覆盖在N型外延层上表面氧化层内侧以及氧化层上表面的金属铝层、以及覆盖在金属铝层上表面且与所述金属铝层大小一致的焊接层。 | ||
搜索关键词: | 晶圆 | ||
【主权项】:
暂无信息
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