[实用新型]一种提高溢流循环效率的清洗槽结构

摘要

本实用新型公开了一种提高溢流循环效率的清洗槽结构，包括主槽体，还包括围绕主槽体设置收集从主槽体溢流的溶液的副槽体，将溶液从副槽体抽取输送至主槽体底部的循环进口的循环设备，所述主槽体的上部设有多个溢流口，且溢流口的开口从上至下逐渐缩小，所述副槽体上设有对溢流溶液进行过滤的过滤装置。本实用新型通过设置呈离散式小坡口的溢流口，有利于破坏分子表面张力，加速表面液体流动，可根据化学反应的区域，针对性的加速对应区域的表面液体流动，且溢流溶液经过过滤装置过滤后流向副槽体底部时可对溢流处的杂质、泡沫、碎硅片、螺丝等做出隔离。