[实用新型]一种单体镀膜机有效
| 申请号： | 201922016023.2 | 申请日： | 2019-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN212223088U | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张绍璞;范刚;王长湖 | 申请（专利权）人： | 厦门阿匹斯智能制造系统有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭锦辉;陈艺琴 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市集美*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单体镀膜机，包括真空泵组，真空腔体，工件转架以及高功率脉冲磁控溅射靶；所述真空腔体与所述真空泵组相连接，所述工件转架及高功率脉冲磁控溅射靶位于所述真空腔体内，所述高功率脉冲磁控溅射靶的数量为至少一套，所述工件转架围绕所述其中一套高功率脉冲磁控溅射靶设置。本实用新型可将所镀膜层的a(红绿)值推至10以上，b(黄蓝)值推至35以上并能够在较高的a、b值区间获得更高的L(亮暗)值；因为大幅提升了离化率从而提升了工艺调整的可重复性精度；由于该镀膜系统沉积速率很高，因此可根据工艺条件大幅减少生产周期，预计会从目前的70分钟/炉，减少到45分钟/炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单体 镀膜 | ||
【主权项】：
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