[实用新型]一种薄膜真空计有效
| 申请号： | 201922020250.2 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN210603717U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张心强;靳毅;齐英;蔺宇;陈林 | 申请（专利权）人： | 川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00;G01L19/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102200 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种薄膜真空计，属于检测设备技术领域，包括：外壳，内部具有参考压力腔；导线，一端伸至于所述外壳的参考压力腔内，另一端伸出所述外壳；吸气剂，悬置在所述参考压力腔内；所述吸气剂内部设有电热元件，所述电热元件的两端与所述导线连接。本实用新型的薄膜真空计，吸气剂悬置在参考压力腔内，在对吸气剂进行激活加热的过程中，吸气剂不与其他部件接触，因此可避免在对吸气剂加热过程中造成的其他部件温度过高的问题；并且，在吸气剂内内置电热元件，使电热元件的热量直接作用于吸气剂，使吸气剂的加热效率更高，另外，内置在吸气剂内的电热元件还可以对吸气剂起到支撑作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 真空计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所，未经川北真空科技（北京）有限公司;中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922020250.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型光纤熔接机电极压块
- 下一篇：一种封闭防尘投影仪
