[实用新型]测量系统有效
| 申请号： | 201922021083.3 | 申请日： | 2019-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN211651532U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 埃拉德·多坦;莫舍·万霍特斯克尔;希莫·亚洛夫;瓦莱里·戴希;罗伊·林格尔;本亚明·舒尔曼;纽希·巴尔·欧恩;沙哈尔·巴桑 | 申请（专利权）人： | 诺威量测设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/27;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈丹阳 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种测量系统，配置为与处理设备集成，处理设备用于对结构进行光学测量，测量系统包括：支撑组件，用于将待测结构保持在测量平面中，使结构沿着至少一个第一横轴移动，并且用于通过z轴载物台改变测量平面的z轴位置；其中，z轴载物台包括两个相对对称的楔块，楔块支撑中间元件，中间元件具有与楔块接触的定向下表面；其中，支撑组件配置为通过改变楔块之间的距离来改变测量平面的z轴位置。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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