[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201922021436.X | 申请日： | 2019-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN211546648U | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 肖志慧;宋平;王亚玲;单为健;杨志业 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种掩膜板。掩膜板包括掩膜区，具有多个开口；夹持区，位于所述掩膜区两侧；过渡区，位于所述夹持区与所述掩膜区之间，且与所述夹持区和所述掩膜区邻接；其中，所述过渡区的宽度自所述夹持区向所述掩膜区趋于增大；所述宽度为所述掩膜板在垂直于其张网方向和蒸镀方向上的尺寸。本实用新型提供的掩膜板，因过渡区的宽度自夹持区向掩膜区趋于增大，可在掩膜板张网时，实现拉力从夹持区向掩膜区的缓慢过渡，降低了夹持区与掩膜区连接处的应力集中，避免掩膜板的损坏，从而避免了在掩膜板张网时产生褶皱，整体提高了掩膜板的蒸镀精度。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
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