[实用新型]工具车组件有效
申请号: | 201922028187.7 | 申请日: | 2019-11-21 |
公开(公告)号: | CN210984709U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 胡广豹;王秀鹏;蒋卫朋;彭吉贤 | 申请(专利权)人: | 成都晔凡科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 刘迎春 |
地址: | 610041 四川省成都市高新区*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种工具车组件,用于在太阳能电池片的制造过程中运送太阳能电池片,工具车组件包括可移动的工具车和供气装置。工具车具有容纳腔、车门和充气孔,车门可活动地连接至工具车的车身以将容纳腔打开或关闭;充气孔设置在限定容纳腔的壁面上并能够连通容纳腔和外界。供气装置构造为能够装配到工具车并通过充气孔向容纳腔内供应处理后的气体,处理后的气体仅具有单一成分或相比于空气缺少特定成分。本实用新型能够提供特定气体环境以在制程中运送并储存在制的太阳能电池片,省略了在上料下料点和氮气柜之间的运输流程,使得操作更加简单、生产效率提高。并且,自身能够提供特定的存储环境的工具车是可移动的,能够提升制程中的灵活性。 | ||
搜索关键词: | 工具车 组件 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造