[实用新型]自动转移过渡的离子液体电镀装置

摘要

本申请公开了一种自动转移过渡的离子液体电镀装置，包括两个或多个密封箱体、过渡舱、补气装置和真空泵，过渡舱位于两个相邻的密封箱体之间，过渡舱与密封箱体密封固定连接，过渡舱设置有舱门，过渡舱与补气装置和真空泵通过管道连接，工件在不同密封箱体之间通过传输带经过过渡舱转移，两级密封箱体内各自设有传送带，过渡舱内有舱内传送带，密封箱体内的传送带和舱内传送带组成工件容器的传送转移通道。本实用新型使用过渡舱实现在保持密封箱体之间的气氛互不影响的同时，减小了工件转移过程中的抽气量和补气量，由于只对体积较小的过渡舱进行抽真空，箱体内外气压一直保持基本平衡，降低了对箱体结构强度的要求。