[实用新型]一种晶圆级的封装结构有效
申请号: | 201922056683.3 | 申请日: | 2019-11-25 |
公开(公告)号: | CN210743931U | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 任玉龙;曹立强 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/538;H01L21/48 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 李静 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于封装技术领域,具体涉及一种晶圆级的封装结构。该晶圆级封装结构包括塑封层、第一晶圆、导电金属柱、重布线层、载片;该结构通过在塑封层内设置导电金属柱,其两端分别与重布线层实现电连接,第一晶圆正面与第一重布线层电连接,且第二重布线层设置在第一晶圆背面的方向,使晶圆级封装结构无需TSV工艺就可以实现背面电互联,通过设置第一重布线层,可以提高空间利用率;在实际应用中,第一重布线层可以实现第一晶圆的直接互连、提高空间利用率,便于第二重布线层布局,使其应用更广。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶圆级 封装 结构 | ||
【主权项】:
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