[实用新型]一种磁控溅射靶枪护罩有效
| 申请号： | 201922056781.7 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210916238U | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 李吉光;李晓坤;徐一舟 | 申请（专利权）人： | 杭州福照光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311200 浙江省杭州市萧*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控溅射靶枪护罩，靶枪包括基座（内含磁钢）、靶材、护罩、水冷环，柔性材料护罩等结构，相对于典型磁控溅射靶枪结构，护罩表面通过刚玉等处理加以粗化以增大吸附面积，以防止靶材材料溅射成膜脱落，新加入的柔性材料护罩可以有效吸附高应力材料而无形变，降低罩壁所附着高应力材料脱落进入靶枪的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 护罩 | ||
【主权项】：
暂无信息
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