[实用新型]大视场微观3D形貌多通道测量装置有效
| 申请号： | 201922058123.1 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN210741402U | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 叶一青;易定容;孔令华;蒋威;朱星星 | 申请（专利权）人： | 宁波五维检测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙) 51250 | 代理人： | 王杰 |
| 地址： | 315000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型具体涉及一种大视场微观3D形貌多通道测量装置，该装置包括：复色光照明模块、纵向色散增强型光学成像模块、多通道光谱灰度图像采集模块、高精度三轴载物台、图像分析与载物台控制模块。该装置能实现一次自动聚焦后，在无载物台轴向运动的情况下，完成样本大视场微观3D形貌测量，具有高横向分辨率、高纵向测量精度、毫米量级纵向测量范围、英寸级大视场横向测量范围的微观3D形貌测量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 视场 微观 形貌 通道 测量 装置 | ||
【主权项】：
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