[实用新型]一种基于光电反馈的MEMS振镜模组有效
| 申请号： | 201922064353.9 | 申请日： | 2019-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN210776029U | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 夏长锋;宋秀敏;何耀军;郑文会;乔大勇 | 申请（专利权）人： | 西安知微传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G01H9/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于光电检测和微光机电系统领域，具体涉及一种基于光电反馈的MEMS振镜模组。解决振镜研发耗费时间长成本高的问题。包括密封壳体及位于密封壳体内部的振镜驱动组件与振镜反馈组件；振镜反馈组件包括激光器及光电检测电路板；激光器与光电检测电路板均与主控板电连接；激光器出射的光束入射至振镜反面反射面；振镜反面反射面将光束反射后入射至光电检测电路板；光电检测电路板用于检测振镜的振动参数，并将振动参数反馈至主控板；主控板的输出端通过连接线引出密封壳体。通过振镜光电检测反馈组件，直接探测振镜振动位置，得到振镜的幅值和相位信息，可根据振镜振动的实际幅值和相位调节驱动信号，使振镜工作状态稳定在目标角度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光电 反馈 mems 模组 | ||
【主权项】：
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