[实用新型]一种氮化硅生产用真空烧结炉有效
| 申请号： | 201922071415.9 | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN211601529U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 朱万政;王三忠;高波;田博;袁玉涛;曹村兵;于海阔 | 申请（专利权）人： | 天津炜润达新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/06;F27B5/16;F27D17/00 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 赵健康 |
| 地址： | 301800 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种氮化硅生产用真空烧结炉，包括炉体，炉体的一侧密封铰接有炉门，炉体的一侧设有第一抽气管，第一抽气管的内部设有密封盖，第一抽气管上设有第二抽气管，第二抽气管的另一端连有抽气泵，炉体的顶部一侧设有氮气罐，氮气罐上连有氮气输送管，氮气输送管的另一端转动连接有第三管道，第三管道的另一端伸入到炉体的内部并与氮气布气管连通，氮气布气管的下侧设有多个布气支管，布气支管上设有若干出气口，炉体的顶部另一侧设有出气管，出气管上设有排气阀，出气管的另一端伸入到炉体顶部设有的水箱中，水箱的内部设有第一管道，第一管道的一端与出气管相连，第一管道的另一端连有第二管道，第二管道的另一端位于水箱的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 生产 真空 烧结炉 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津炜润达新材料科技有限公司，未经天津炜润达新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922071415.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种显示模组的热测试装置
- 下一篇：一种聚酯纤维混凝土表面气泡检测装置
