[实用新型]一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板

摘要

本实用新型公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板，本实用新型使用石墨载板时，通过将硅片放置在搭载孔中，因硅片的规格不同，选择合适的承载板一、承载板二或承载板三进行放置硅片，硅片放置在承载板一上时，对于方形的硅片，将硅片的拐角处插入承载板二一侧的卡接槽上，对硅片进行固定，若将硅片放在承载板二上，位于其上端的硅片一端与承载板三一侧的卡接槽连接，承载板三上也可以放置硅片，位于承载板一、承载板二和承载板三上端的硅片的规格不同，提高承载板的使用次数，为石墨载板搭载不同规格的硅片提供方便。