[实用新型]3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构有效
| 申请号： | 201922109594.0 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211565615U | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;黄海军 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用夹具、弹性供力结构和夹持结构，所述夹具包括底板、弹性供力结构以及夹持结构，弹性供力结构和夹持结构均固定安装在底板上；弹性供力结构包括固定管、导向环、活动杆、弹簧以及拉杆；夹持结构包括固定U形板、翘边、加工开口、橡胶垫条、平板以及橡胶垫片。本实用新型结构简单，操作方便，应用于3DMEMS探针卡制作时的夹持，通过夹持结构可为探针卡pcb板提供夹持位置，对探针卡pcb板的三个边进行夹持，夹持效果较好，受力均匀，使探针卡pcb板的表面露在加工开口的底部，可进行加工操作；通过弹性供力结构可为探针卡pcb板提供压紧，通过弹簧拉伸后的弹力，为活动杆施力，进一步为平板施力，通过固定U形板的阻挡，实现夹紧。 | ||
| 搜索关键词： | dmems 探针 夹具 弹性 结构 夹持 | ||
【主权项】：
暂无信息
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