[实用新型]一种探针台用探针卡固定机构、夹紧机构和调节机构有效
| 申请号： | 201922109595.5 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211402476U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 刘明星;黄海军 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针台用探针卡固定机构，包括框体、夹板、夹紧机构和调节机构；夹紧机构包括电机、丝杠、延伸板、导板、安装板、限位板、托板、齿板、固定板、转动杆、第一弹簧和压板；调节机构包括齿轮、转轴、手柄、棘轮、棘爪座、螺杆、螺母、棘爪和第二弹簧。本实用新型结构简单，通过夹板的移动方便对探针卡进行夹紧，并通过限位板的设计方便对圆形结构的探针卡限位，有利于探针卡的固定以及定位，两个夹板的同时移动方便对不同大小的探针卡进行固定；本实用新型通过托板的设计方便对探针卡进行支撑，并通过夹紧后托板和压板的同时移动方便探针卡与晶圆的接触，压板的移动也提高探针卡下压时的稳定性，避免探针卡发生移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 固定 机构 夹紧 调节 | ||
【主权项】：
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