[实用新型]一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置有效
| 申请号： | 201922116399.0 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN212451607U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 周希伟;卢泓;徐亚晨;谢发飞;叶子云 | 申请（专利权）人： | 江苏壹光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56;C23C14/12 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 卢霞 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种有毛刷的线性蒸发源蒸镀装置，包括真空腔体（1）、设在真空腔体（1）内的蒸镀基板（2）、蒸发源盖板（3）和线性蒸发源（8）；所述的蒸镀基板（2）设在真空腔体（1）内部上方；所述的蒸发源盖板（3）设在蒸镀基板（2）下方；所述的线性蒸发源（8）设在蒸发源盖板（3）下方；还包括气缸传动柱（6）与气缸（7）；所述的蒸发源盖板（3）上安装有用于清理喷嘴堵口的毛刷结构（4）。本实用新型具有如下技术效果：1、在本实用新型的线性蒸发源盖板结构中，蒸发源盖板上设置毛刷结构，使蒸发源盖板在打开关闭过程中可以接触到蒸发源喷嘴，实时有效的解决了蒸发源喷嘴堵口的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 毛刷 线性 蒸发 源蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
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