[实用新型]机器人手臂的校正系统有效
| 申请号： | 201922125123.9 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211517542U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 江羿鋐;吴俊鹏 | 申请（专利权）人： | 吴俊鹏;陈纪宇 |
| 主分类号： | B25J19/00 | 分类号： | B25J19/00 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 中国台湾新竹市北*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种机器人手臂的校正系统，机器人叶片用于持住晶圆，透过机器人手臂将晶圆传送至腔室，其特征在于，机器人手臂的校正系统包括校正治具及对准治具。校正治具具有激光模块及孔道，校正治具的孔道设置于机器人叶片的第一凹槽内，校正治具的激光模块设置于机器人叶片上，激光模块透过孔道发射激光。对准治具设置于腔室内，对准治具对准于校正治具，并接收由所述激光模块透过校正治具的孔道所发射的激光，利用激光当作定位点，在更换机器人手臂时，对准激光的定位点以完成机器人手臂的位置校正。以实现快速准确地校正步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 机器人 手臂 校正 系统 | ||
【主权项】：
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