[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201922128023.1 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211184243U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 周延青;潘华兵;郑泉智;胡铁刚 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;冯丽欣 |
| 地址： | 310012*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风。所述MEMS麦克风包括衬底；位于衬底第一表面上的膜片和背极板电极，膜片与背极板电极彼此隔开，膜片的第一表面与背极板电极的第一表面彼此相对；以及贯穿衬底到达膜片的第二表面的声腔，膜片的周边部分的部分区域为不连续区域。该不连续区域为周边部分边缘不连续或者周边部分的镂空结构。膜片的不连续区域与上下的介质层之间无法构成电容结构，进而降低了对麦克风灵敏度不利的寄生电容。同时不连续区域可以释放一部分的膜片应力，有效提高膜片的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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