[实用新型]晶圆吸取机构有效
| 申请号： | 201922131948.1 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211225464U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 孙涛涛;黄亮;吴拓 | 申请（专利权）人： | 芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 郭成;解敬文 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖市经济技术开*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了晶圆吸取机构，包括：底板、吸盘机构和感应器；所述底板上间隔设置有多通孔，围绕着所述通孔在所述底板的同一侧间隔设置有多个所述吸盘机构，每个所述通孔内还设置有所述感应器，所述感应器用于检测所述通孔处是否吸附有晶圆。该晶圆吸取机构克服现有技术中在对LED晶圆进行搬运时，一般都是通过人员手工逐片搬运，极大地浪费了人力，而且工作效率低下，搬运时稍有不慎就会造成晶圆摔损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 吸取 机构 | ||
【主权项】：
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