[实用新型]一种新型的靶材邦定机构有效
| 申请号： | 201922140925.7 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN210945764U | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 胡茂横;张剑华;冯群 | 申请（专利权）人： | 深圳恒泰克科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 宋鹏跃;彭涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办事处*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种新型的靶材邦定机构，包括一具有加热与冷却的组件、设置该组件内的一靶材机构、与该组件配合且设置在靶材机构内的一芯杆加热器、以及与芯杆加热器连接的一驱动机构。本实用新型采用靶材及靶筒相对固定，而具有加热与冷却的组件能控制冷却与加热的切换，使得靶材一次冷态安装就可以完成邦定过程，并且大大降低了对邦定车间厂房高度的要求；如此，对近4米的靶材，只需约8米多的厂房就可以工作降低厂房高度要求，节约厂房成本；降低安装次数、劳动强度，改善生产条件；改善产品品质，使过程更受控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 靶材邦定 机构 | ||
【主权项】：
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