[实用新型]涂胶设备有效
| 申请号： | 201922144099.3 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211086916U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;林大野;于海娇;莫炜静 | 申请（专利权）人： | 深圳市思坦科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种涂胶设备，涂胶设备包括：可转动的真空吸盘，所述真空吸盘用于放置所述晶圆。喷淋头，位于所述真空吸盘的上方，所述喷淋头上设置有多个喷洒孔，所述多个喷洒孔用于向真空吸盘的方向喷洒光刻胶。本实用新型的技术方案，可以使光刻胶可以更加均匀的喷洒在晶圆上，由于光刻胶在喷涂时就喷涂的比较均匀，在悬涂时还可以相对降低悬涂时的转速，可以减少光刻胶在悬涂时的浪费，解决了悬涂时光刻胶用量大易浪费的问题，达到了节约光刻胶的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 设备 | ||
【主权项】：
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