[实用新型]芯片的三维封装结构有效

专利信息
申请号: 201922147430.7 申请日: 2019-12-04
公开(公告)号: CN210722993U 公开(公告)日: 2020-06-09
发明(设计)人: 陈彦亨;林正忠;吴政达 申请(专利权)人: 中芯长电半导体(江阴)有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/49
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 贺妮妮
地址: 214437 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种芯片的三维封装结构,该结构包括:两片以上具有焊垫的芯片,两片以上芯片呈阶梯型构造层叠,焊垫设置于阶梯型构造的阶梯台面中;形成于焊垫上的金属连接柱;封装层,覆盖金属连接柱及芯片;重新布线层,形成于封装层上;金属凸块,形成于重新布线层上。通过将多个芯片以阶梯型构造层叠结合,同时通过设置于阶梯型构造的阶梯台面中的焊垫与金属连接柱电连接实现芯片电路的引出,整个封装结构不需要通过TSV穿孔制程,有效降低封装结构的封装成本;另外,相较于TSV孔工艺打线工艺成熟且工艺简单,可大幅提高封装结构的良率;最后封装结构不需要基板支撑,可减少封装结构的封装厚度。
搜索关键词: 芯片 三维 封装 结构
【主权项】:
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