[实用新型]一种芯片生产用清洁装置有效
| 申请号： | 201922149552.X | 申请日： | 2019-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN211802736U | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 沈晓亮;韩泉栋;高兴龙;吕笑天;沈彩平 | 申请（专利权）人： | 合肥泽延微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 合肥律众知识产权代理有限公司 34147 | 代理人： | 马文峰 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种芯片生产用清洁装置，涉及芯片生产技术领域，针对现有的芯片生产用清洁装置如超声波清洗机在清洗芯片晶圆时，芯片晶圆上的残留水不易快速清除，且芯片晶圆在清洗机内不易分类限位放置，而芯片晶圆与放置装置之间的接触面积较大，也会影响对芯片晶圆的清洗效率的问题，现提出如下方案，包括清洗机主体，所述清洗机主体的内部转动连接有盛物网，所述盛物网的上表面分布固定连接有若干个芯片晶圆放置盘。本实用新型通过盛物网的设计，便于对芯片晶圆的放置，减少芯片晶圆与放置装置之间的接触面积，从而增加对芯片晶圆的清洗程度，通过芯片晶圆放置盘的设计，便于对芯片晶圆的限位放置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 生产 清洁 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥泽延微电子有限公司，未经合肥泽延微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201922149552.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种飞行器
- 下一篇：一种茶叶加工压扁装置
