[实用新型]单晶炉自动定量真空加料系统

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统，包括储料罐，所述储料罐的上端设置计量仓，所述计量仓的上方设置加料仓，所述加料仓的侧面卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接储料罐，所述加料仓的顶部卡接吸料管，所述吸料管的另一端卡接过滤器，所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵，所述储料罐内设置主料加料模块，所述计量仓内设置小料加料模块，所述加料仓内设置真空上料模块，所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器，所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料，可以稳定，可靠的满足单晶硅棒生产的要求，实现了经济、高效。