[实用新型]一种微小径工模具纳米涂层装置结构

摘要

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种微小径工模具纳米涂层装置结构，包括真空镀膜室，所述真空镀膜室左侧的顶部与底部均连通有与其固定连接的引出直管，两个所述引出直管的左侧均固定连接有弯管，两个所述弯管远离引出直管的一端均固定连接有固定靶座，两个所述固定靶座相对的一侧均固定连接有电弧源，两个所述弯管的外侧均套设有与其固定连接的水冷管道，两个所述水冷管道的外侧均绕设有与其固定连接的稳弧线圈，两个所述水冷管道的外侧均绕设有与其固定连接的聚焦线圈。该实用新型，解决了不能明显改善液滴现象，导致膜层的大颗粒太多，会严重影响微小径工模具的使用特性的问题。