[实用新型]一种柔性集成式阵列传感器

摘要

本实用新型提供了一种柔性集成式阵列传感器及其制造工艺，其属于柔性传感器技术领域。所述阵列传感器包括构造在一适于柔性应用的硅晶圆上的读出电路层，其包括若干个读出电路单元；构造在所述读出电路层上的传感阵列层，其包括若干个传感单元，每个所述传感单元均通过导电钨塞与一个所述读出电路单元连接以构成一个检测单元，这些检测单元在硅晶圆上呈m*n阵列化分布以形成检测阵列。该阵列传感器减少了引线数目，简化了电路结构，实现了传感器阵列与读出电路的单芯片集成，从而具有高灵敏度、高分辨率、高信噪比和抗干扰能力强的优点，能广泛应用于电子皮肤和仿生机器人等多个领域。