[实用新型]太阳能电池片的无缝隙传输装置有效
| 申请号： | 201922183724.5 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN210805725U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 梅有明;戴宝驹;陈建华 | 申请（专利权）人： | 扬州朗日新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 常州市夏成专利事务所(普通合伙) 32233 | 代理人： | 姜佩娟 |
| 地址： | 225800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及传输装置的技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片的无缝隙传输装置。这种太阳能电池片的无缝隙传输装置包括载具、装载腔、加速段和沉积区，装载腔连接加速段，加速段连接沉积区，装载腔、加速段和沉积区内设有传输装置，载具置于传输装置上，所述装载腔两侧设有门阀一和门阀二，装载腔内设有传感器一，加速段内设有传感器二，所述沉积区底部设有位置点。通过这种无缝隙传输系统，载满硅片的载具在通过工艺腔体时，载具上第一排、末排产品不再有边缘效应，提升了硅片的镀膜或蚀刻均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 缝隙 传输 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
