[实用新型]一种低栅极电荷的超级结功率器件有效
| 申请号： | 201922184735.5 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN210607253U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 丁磊 | 申请（专利权）人： | 张家港凯思半导体有限公司;江苏协昌电子科技股份有限公司;张家港凯诚软件科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/092 | 分类号： | H01L27/092;H01L29/786;H01L29/06;H01L21/336 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 夏平 |
| 地址： | 215612 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种低栅极电荷的超级结功率器件，包括N‑型外延层和N+型漏区，所述N‑型外延层位于N+型漏区上方，N+型漏区的底面设有背面电极；N‑型外延层内设有P型柱状掺杂区，P型柱状掺杂区的顶部设有P‑型体区，P‑型体区内设有N+型源区，N+型源区之间设有第二P+型区；N‑型外延层的上表面覆盖有栅极氧化层，栅极氧化层上方覆盖有栅极多晶硅，栅极多晶硅之间由氧化层隔离，氧化层上方覆盖有源极金属。本实用新型与现有传统超级结器件相比栅极电荷降低了30‑50％，大大优化了开关速度和开关能耗，具有更优化的器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 栅极 电荷 超级 功率 器件 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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