[实用新型]一种带烘干功能的晶圆存放盒有效

专利信息
申请号: 201922186289.1 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN211108688U 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 胡建军 申请(专利权)人: 苏州英尔捷半导体有限公司
主分类号: B65D25/02 分类号: B65D25/02;B65D25/52;B65D81/22;B65D85/86;B65D25/20;B65D81/05
代理公司: 苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙) 32385 代理人: 徐永雷
地址: 215000 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种带烘干功能的晶圆存放盒,包括加热机构和海绵层,所述加热机构的底端中部卡合机构,且卡合机构的底端衔接有盒体,所述盒体右侧外壁设置有硅胶凸起,且盒体的内壁底端粘接有吸水树脂层,所述盒体的底端外壁安置有支撑机构,且盒体的内壁顶端中部设置有竖向限位槽,所述竖向限位槽的右侧外壁粘接有防滑垫。该带烘干功能的晶圆存放盒通过底座和支撑柱的设置,可以对盒体进行支撑,在盒体内部进行烘干的同时,其盒体底端开设有出水管,经过出水管使得晶圆本体上多余的水雾得以滑落至储水箱内,并通过螺纹盖打开储水箱可以将积水进行排除,防止了晶圆本体叠放时背面的水雾会粘湿相邻晶圆本体的正面,保证了晶圆本体的表面干燥。
搜索关键词: 一种 烘干 功能 存放
【主权项】:
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