[实用新型]双面减薄的装置有效
申请号: | 201922195386.7 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN211728757U | 公开(公告)日: | 2020-10-23 |
发明(设计)人: | 卢健平 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | B24B37/08 | 分类号: | B24B37/08;B24B37/34 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 肖阳 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本实用新型公开了双面减薄的装置,包括:环状保持器,所述环状保持器包括承载环和静压环,所述承载环沿径向支撑加工工件的外周侧,通过所述承载环带动加工工件在竖直方向上转动,所述静压环沿着径向固定设置在承载环的外周侧;两个静压垫,分别为第一静压垫和第二静压垫,所述两个静压垫分别对称地设置在环状保持器的两侧;进击轴,所述进击轴设置在静压垫的下部开孔处,沿着轴向移动,所述进击轴上的砂轮通过开孔直接研磨加工工件,所述第一静压垫与第二静压垫的间距为D |
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搜索关键词: | 双面 装置 | ||
【主权项】:
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