[实用新型]一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机

摘要

本实用新型公开了一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机，包括床身座、转台连接件、抛光盘、电机装置、抛光液喷射系统以及用于固定工件的工件轴，抛光盘与转台连接件之间设有循环回路盘，抛光盘内设有多个用于采集抛光盘温度的温度传感器，循环回路盘设有循环进水管和循环出水管，循环进水管和循环出水管贯穿转台连接件和电机装置的芯轴，电机装置的芯轴端部轴向连接双通道旋转接头，双通道旋转接头的两个出水口分别通过管道连接到用于加热或冷却循环水的温控机，温控机、循环进水管、循环出水管和循环回路盘构成循环回路。与现有技术相比，本实用新型能够通过循环回路盘与抛光盘进行热交换从而实现直接控制抛光盘温度，控温效果好。