[实用新型]一种APCVD履带刻蚀自动加酸装置有效
| 申请号： | 201922205818.8 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211521565U | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 赵晶;姜振虎;吴迪;陈信;孙超;刘义;邓建忠;张西标 | 申请（专利权）人： | 山东有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B67C3/30 | 分类号： | B67C3/30;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 253012 山东省德州市经济技术开发区袁桥*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种APCVD履带刻蚀自动加酸装置，包括主液桶和刻蚀酸桶，主液桶依次连接泵、气动阀和刻蚀酸桶，气动阀经由电磁阀连接打液开关；其中，泵连接有控制泵启动的继电器，电磁阀连接得电导通的继电器，控制泵启动的继电器和与电磁阀连接的继电器分别连接PLC输出端；刻蚀酸桶上安装有上限位传感器和下限位传感器；该两个传感器分别与PLC输入端连接。采用本实用新型的自动加酸装置，在APCVD履带刻蚀加酸过程中，操作人员只需一个按键便可完成一个月的所需加酸量，整个操作过程简单，一键操作便可完成，对于初次使用人员也十分方便。可以更加安全可靠的进行加酸，有专门的保障系统防止有酸外漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 apcvd 履带 刻蚀 自动 加酸 装置 | ||
【主权项】：
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