[实用新型]一种集成式单晶生长炉有效
| 申请号： | 201922207809.2 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN211079412U | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 刘欣宇;袁振洲 | 申请（专利权）人： | 江苏超芯星半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 黄启兵 |
| 地址： | 225000 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种集成式单晶生长炉，包括后级真空泵以及多个腔体，每个腔体均分别设置有抽气系统，抽气系统包括与腔体连通的抽气管以及前级真空泵，前级真空泵用以排出腔体和抽气管内的气体，每个腔体的抽气管分别与后级真空泵连通，后级真空泵用以排空腔体和抽气管内的气体。该集成式单晶生长炉通过多个腔体共用一个后级真空泵的方式，减少了后级真空泵的购买成本以及维护成本，同时节省了厂房内的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 式单晶 生长 | ||
【主权项】：
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